痛點
UPW distribution loop 中，細菌可在管壁形成 biofilm；剝落後常成為 TOC 突波來源。化學投藥可能引入新污染與殘留管理成本，側流過濾也難以處理已附著的膜層。
單次非計畫停機的代價極高，製程與品質團隊需要可稽核的微生物控制證據，而不只是「有裝設備」。
半導體 · UPW
半導體超純水（UPW）的 265nm UVC 殺菌
超純水分配迴路中的微量微生物與管壁生物膜，可能牽動 TOC 波動與良率。Aqua Lux 的 Hyper Flux™ UVC 740 以非加熱、無汞 265nm LED，在關鍵水路提供可追蹤的物理殺菌／抑膜。
作法
在關鍵分配或回收路徑導入 Hyper Flux™ UVC 740（Ø46×744 mm／265nm），以物理殺菌降低對化學投藥的依賴，並以流量×光強回授維持目標劑量。
- 旁通或串接既有循環，依流量可並聯多支
- 運轉數據（劑量相關指標、流量、告警）可追溯，支援製程稽核
- LED 無汞、功率可調，適合與現場 UVT／流量條件對齊
可驗證重點
- 波長與腔體規格公開（265nm、Ø46×744 mm）
- 單台標準／增強劑量與 3S 累積劑量可對照評估
- 實際效能依現場流量與 UVT；導入前需工程評估