痛点
UPW distribution loop では細菌が管壁に biofilm を形成し、剥離が TOC 突発の原因になり得ます。薬注は新たな汚染と残留管理コストを招く場合があり、サイドストリームろ過だけでは付着膜に対応しにくいです。
計画外停止の代償は大きく、プロセス／品質チームには「設置した」以上の監査可能な微生物制御の証拠が必要です。
半導体 · UPW
半導体 UPW ループ向け 265nm UVC
UPW 分配ループの微量微生物と配管 biofilm は TOC 変動や歩留まりに影響し得ます。Aqua Lux の Hyper Flux™ UVC 740 は無水銀・非加熱の 265nm LED で、重要水路に追跡可能な物理殺菌／抑膜を提供します。
手法
重要分配・回収経路に Hyper Flux™ UVC 740（Ø46×744 mm／265nm）を導入し、流量×強度フィードバックで目標線量を維持します。
- バイパスまたは直列、大流量は並列
- 線量関連指標・流量・警報を追跡しプロセス監査を支援
- 無水銀・出力可変 LED を現場 UVT／流量に整合
検証ポイント
- 波長と槽仕様（265nm、Ø46×744 mm）を公開
- 1 台の標準／ブースト線量と 3S 積算線量でサイジング可能
- 実効は流量と UVT 依存—事前のエンジニアリング評価が必要